水刀切割机在切割时，根据数控指令切割所行走的轨迹路线是理论尺寸，实际切割下来尺寸会存在一点偏移，这是因为切割时存在割缝，割缝是切割时损耗的部分，因此如果不进行几何尺寸补偿，实际切割下来的零件尺寸外轮廓部分长度方向会变小内轮廓尺寸会变大（双边刚好相差割缝宽度，单边相差割缝的一半）。比如我们要切割一个φ100mm的圆形工件，水束直径为φ1m，那么水刀的切割轨迹则按照一个直径为φ101mm的圆形轨迹切割（切割运动轨迹是切割水束中心所走过的轨迹，CAD/CAM软件里生成的G代码所表明的运动坐标，就是切割运动轨迹的坐标），而不是φ100mm的圆；如果运动轨迹为φ100mm的话，最终切割出来的工件的直径只有φ99mm，周边比要求的φ100mm小了一个切割半径（即切割水束的半径）。为了补偿这少掉的切割半径，在CAD/CAM软件里需要将运动轨迹在工件尺寸的基础上再加一个切割半径（如果是切割孔，则应减去一个切割半径），即所谓半径补偿，以便最终能加工出和要求尺寸相一致的加工件。

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