水刀切割机在切割时，根据数控指令切割所行走的轨迹路线是理论尺寸，实际切割下来尺寸会存在一点偏移，这是因为切割时存在割缝，割缝是切割时损耗的部分，因此如果不进行几何尺寸补偿，实际切割下来的零件尺寸外轮廓部分长度方向会变小内轮廓尺寸会变大（双边刚好相差割缝宽度，单边相差割缝的一半）。
    比如我们要切割一个φ100mm的圆形工件，水束直径为φ1m，那么水刀的切割轨迹则按照一个直径为φ101mm的圆形轨迹切割（切割运动轨迹是切割水束中心所走过的轨迹，CAD/CAM软件里生成的G代码所表明的运动坐标，就是切割运动轨迹的坐标），而不是φ100mm的圆；如果运动轨迹为φ100mm的话，最终切割出来的工件的直径只有φ99mm，周边比要求的φ100mm小了一个切割半径（即切割水束的半径）。为了补偿这少掉的切割半径，在CAD/CAM软件里需要将运动轨迹在工件尺寸的基础上再加一个切割半径（如果是切割孔，则应减去一个切割半径），即所谓半径补偿，以便最终能加工出和要求尺寸相一致的加工件。

    设置割缝补偿方面需注意以下几点：1、设置了软件补偿以后一般不需要在数控系统上补偿，否则补偿重复尺寸就又会出现偏差了。但如果软件补偿在切割下来后尺寸还差一点，可以通过数控系统再补偿。2、如果通过数控系统补偿，则应在软件中把补偿量设为零。3、如果不能确定应该补偿多少尺寸，可以在废料上割一个矩形，测量实际尺寸和编程尺寸计算出需要的补偿量。4、数控系统在处理小圆弧的补偿时比较困难，如果圆弧比补偿半径还小是切割不出来的，更不能正确补偿（理论上半径变成负数），对这种情况应该考虑修改零件图，或者考虑采用软件补偿以便及时发现问题。

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